529-0455-00L  Micro- and Nanostructures: Laser Applications in Research and Industry

SemesterHerbstsemester 2017
DozierendeT. Lippert
Periodizitätjährlich wiederkehrende Veranstaltung
LehrspracheEnglisch



Lehrveranstaltungen

NummerTitelUmfangDozierende
529-0455-00 VMicro- and Nanostructures: Laser Applications in Research and Industry
Die Vorlesung kann auch in Deutsch gehalten werden (nach Vereinbarung).
2 Std.
Mi10-12HCI D 2 »
T. Lippert

Katalogdaten

KurzbeschreibungIntroduction to the fundamentals of lasers and their applications with an emphasis on micro- and nano-structuring. Several applications which are still in the research state, will be discussed together with industrial applications, such as microlithography and laser welding. Other aspects are the materials that are applied in these applications, e.g. photoresists, and their functioning.
LernzielIntroduction to the fundamentals of lasers and their applications with an emphasis on micro- and nano structuring. Several applications which are still in the research state, e.g. non-optical lithographies, will be discussed together with industrial applications, such as microlithography and laser welding. Other aspects are the materials that are applied in these applications, e.g. photoresists, and their functioning.
InhaltIntroduction to lasers, Overview of micro- and nanotechnology, microlithography, photoresists: classical types and new developments, laser cutting and welding, laser cleaning, laser ablation, polymer ablation: designed polymers, lasers and surfaces, laser spectroscopy, laser chemical vapor deposition, pulsed laser deposition (PLD), special materials by PLD, alternative structuring methods.
SkriptThe script (a copy of the slides) will be handed out during the first lecture.
Literatur• D. Bäuerle, Laser Processing and Chemistry, 3rd ed., Springer Verlag 2000.
• D. B. Chrisey, G. K. Hubler, Pulsed Laser Deposition of Thin Films, John Wiley & Sons 1994.
• D. Schuöcker, High Power Lasers in Production Engineering, Imperial College Press 1999.
• E. Beyer, Schweissen mit Laser : Grundlagen, Springer Verlag 1995.
• L. F. Thompson, C. G. Willson, M. J. Bowden, Eds., Introduction to Microlithography, 2nd ed., American Chemical Society 1994.
• J. Mazumder, A. Kar, Theory and Application of Laser Chemical Vapor Deposition, Plenum Press 1995.
• W. Demtroeder, Laser Spectroscopy: Basic Concepts and Intrumentation, 3rd ed., Springer 2003.
• F.K. Kneubühl, M. W. Sigrist, Laser, Teubner Taschenbücher Physik, Stuttgart-Leipzig 1999
• FSRM, CD-ROM: An Introduction to the World of Microsystems, Neuchatel.
• Arbeitskreis Lasertechnik R. Poprawe, CD-ROM: Lasertechnik, Aachen.
• J. Gobrecht, Vorlesungsskript: Grundlagen der Mikro- und Nanotechnik, ETH Zuerich, WS 2001/2002.

Leistungskontrolle

Information zur Leistungskontrolle (gültig bis die Lerneinheit neu gelesen wird)
Leistungskontrolle als Semesterkurs
ECTS Kreditpunkte2 KP
PrüfendeT. Lippert
FormSessionsprüfung
PrüfungsspracheEnglisch
RepetitionDie Leistungskontrolle wird in jeder Session angeboten. Die Repetition ist ohne erneute Belegung der Lerneinheit möglich.
Prüfungsmodusmündlich 30 Minuten
Diese Angaben können noch zu Semesterbeginn aktualisiert werden; verbindlich sind die Angaben auf dem Prüfungsplan.

Lernmaterialien

Keine öffentlichen Lernmaterialien verfügbar.
Es werden nur die öffentlichen Lernmaterialien aufgeführt.

Gruppen

Keine Informationen zu Gruppen vorhanden.

Einschränkungen

Keine zusätzlichen Belegungseinschränkungen vorhanden.

Angeboten in

StudiengangBereichTyp
Doktorat Departement Chemie und Angewandte BiowissenschaftenDoktoratsausbildung in anorganischer ChemieWInformation